真空泵是一种应用广泛、种类繁多的通用机械,选择正确的真空泵类型和型号至关重要。这直接影响设备能否满足系统设计要求,以及设备的可靠性和使用寿命、采购成本和使用寿命内的总成本。
真空泵是一种应用广泛、种类繁多的通用机械,选择正确的真空泵类型和型号至关重要。这直接影响设备能否满足系统设计要求,以及设备的可靠性和使用寿命、采购成本和使用寿命内的总成本。由于选择不合理,许多真空泵运行异常,导致能源浪费,维护成本增加,甚至无法正常工作。因此,真空泵的选择需要仔细进行,反复比较不同方案的优缺点,以确保设备的正常运行。
如果你想购买真空泵,你需要做的一件事就是澄清你的需求,因为真空泵有很多类型,你需要知道你在你的领域使用的是哪一种。根据建立真空室所需的压力确定主泵的类型。然后告诉制造商,他们会帮助你选择适合你的产品,他们应该知道真空泵的工作压力应该满足真空设备的真空极限和工作压力要求。
检查并确定每个过程所需的真空度。因为每个过程都有自己合适的真空范围,所以必须仔细研究和确定。在确定工艺所需真空度的基础上,检查真空泵系统的Z终真空度,因为系统的Z终抽真空度决定了系统的工作真空度。一般来说,系统的Z终真空度比系统的工作真空度低20%,比前一级泵的Z终真空程度低50%。
正确组合真空泵。由于真空泵的选择性泵送,有时选择一种类型的泵无法满足泵送要求,需要将几种泵组合并补充以满足泵送需求。如果钛升华泵对氢具有高的泵送速度,但不能泵送氦,而双极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩具有一定的泵送速率,则两者的结合将导致真空装置中更好的真空度。此外,一些真空泵不能在大气压下运行,需要预真空;一些真空泵的压力低于大气压,需要前置泵,因此它们都需要组合使用。
考虑真空泵的材料和密封性能也是非常重要的。不同的真空泵材料和密封性能对不同的气体和液体有不同的应用范围。例如,一些气体和液体对不锈钢材料具有腐蚀性,因此有必要选择由特殊材料制成的真空泵。此外,真空泵的密封性能也很重要。如果密封性能不好,可能导致气体或液体泄漏,从而影响工艺效果。